GBT 47909-2026《金剛石多晶片》

1（GBT47909-2026）本文件規定了金剛石多晶片的通用分類、技術要求、檢測方法、檢測規則以及標志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于采用化學氣相沉積法(CVD)制備的金剛石多晶片，其他同類產品參考本文件。2規范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T2828.1計數抽樣檢驗程序第1部分：按接收質量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃GB/T6569—2006精細陶瓷彎曲強度試驗方法GB/T6618硅片厚度和總厚度變化測試方法GB/T6619硅片彎曲度測試方法GB/T6620硅片翹曲度非接觸式測試方法GB/T6624硅拋光片表面質量目測檢驗方法GB/T22588閃光法測量熱擴散系數或導熱系數GB/T23806精細陶瓷斷裂韌性試驗方法單邊預裂紋梁(SEPB)法GB/T25995精細陶瓷密度和顯氣孔率試驗方法GB/T36403紅外光學玻璃紅外透過率測試方法傅里葉變換法JB/T3235—2023聚晶金剛石磨耗比測定方法3術語和定義下列術語和定義適用于本文件。金剛石多晶片diamondpolycrystalwafers大量細小雜亂排列的單晶金剛石晶粒由晶界結合而成的連續片狀結構，整體呈現單一金剛石相，宏觀上具有各向同性。4分類與標記金剛石多晶片根據總體質量，按表1進行分類。2表1金剛石多晶片的分類典型應用1級2級3級按照金剛石多晶片材質代號PD、級別、本文件編號的順序進行標記。如供需雙方商定的產品類型不屬于本文件規定的分類范圍，則采用“X”表示。5技術要求5.1加工質量5.1.1外觀質量在任意10mm×10mm區域范圍內，厚度為0.3mm～2.0mm的金剛石多晶片外觀質量應符合表2的要求。表2金剛石多晶片外觀質量要求1級點狀缺陷(黑點、夾雜)/個寬度貫穿注：對于厚度大于2mm的金剛石多晶片，點狀缺陷數量在本表基礎上適當放寬20%以內5.1.2尺寸公差金剛石多晶片厚度公差應不大于0.05mm,其他方向尺寸公差應不大于0.1mm。35.1.3總厚度變化金剛石多晶片的使用面總厚度變化值應不大于0.1mm。5.1.4彎曲度對于厚度為0.3mm及以上的不同外形尺寸金剛石多晶片，其彎曲度應符合表3的要求。表3金剛石多晶片彎曲度要求單位為毫米外形尺寸(L)0.3mm及以上的不同厚度(T)金剛石一一5.1.5翹曲度對于厚度為0.3mm及以上的不同外形尺寸金剛石多晶片，其翹曲度應符合表4的要求。表4金剛石多晶片翹曲度要求單位為毫米外形尺寸(L)0.3mm及以上的不同厚度(T)金剛石一一一5.2性能指標對于厚度0.3mm～2.0mm的金剛石多晶片，性能指標應符合表5的要求。4表5金剛石多晶片性能指標要求1級體積密度/(g/cm3)一一一斷裂韌性/(MPa·m1/2)磨耗比(G-ratio,鋼材磨削)6檢測方法6.1加工質量6.1.1外觀質量按GB/T6624的規定測試外觀質量。視場取樣數量應符合以下規定：——當樣品尺寸不大于20mm時，取1個視場；—-當樣品尺寸超過20mm且不大于50mm時，取不少于2個視場；——當樣品尺寸超過50mm時，取不少于4個視場。視場其他要求應符合以下規定：——各視場應在樣品有效區域內均勻分布，視場之間無明顯重疊；———當取多個視場時，覆蓋樣品的不同區域，必要時包括中心區和邊緣區；——當缺陷呈局部集中分布時，在缺陷集中區域增加取樣；——樣品外觀質量應按各視場中最不利結果進行判定。6.1.2尺寸公差使用精度為0.01mm的千分尺測量厚度，使用精度為0.1mm的游標卡尺測量長度和寬度。6.1.3總厚度變化按GB/T6618的規定測試總厚度變化。6.1.4彎曲度按GB/T6619的規定測試彎曲度。6.1.5翹曲度按GB/T6620的規定測試翹曲度。6.2性能指標6.2.1體積密度按GB/T25995的規定測試體積密度。56.2.2紅外透過率按GB/T36403的規定測試紅外透過率。6.2.3熱導率按GB/T22588的規定測試熱導率。6.2.4斷裂韌性按GB/T23806的規定測試斷裂韌性。6.2.5彎曲強度按GB/T6569—2006的規定測試彎曲強度。6.2.6磨耗比按JB/T3235—2023的規定測試磨耗比。6.2.7其他試驗所用試樣應從產品中制取，試樣應具有代表性。試樣的尺寸、形狀及制備方式在滿足相應試驗方法要求的前提下，應結合金剛石多晶片材料特性確定，試樣表面應無裂紋、崩邊等影響測試結果的缺陷。當產品尺寸或厚度不滿足標準試驗方法規定的試樣尺寸時，可采用實際尺寸試樣進行測試，但應在試驗報告中注明試樣尺寸及測試條件。7檢驗規則7.1檢驗分類和檢驗項目檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗，檢驗項目見表6。表6檢驗項目檢驗項目出廠檢驗1√√2√√3□4√□5√□678√9√□√□√□67.2出廠檢驗7.2.1組批產品應成批提交檢驗，每批應由同一組成、同一批原料、在同一條生產線上經相同工藝連續生產的產品組成，每批數量由供需雙方協商確定。7.2.2抽樣方案抽樣應在7.2.1規定的組批中進行。在該批產品中隨機抽取樣品，抽樣按GB/T2828.1的規定執行。7.2.3合格判定按照表6的出廠檢驗項目進行檢驗，各檢驗項目符合要求時，則判定該批產品為合格。如有不合格項，應自同批產品中加倍抽樣，對不合格項進行復檢。復檢結果如全部合格，則該批產品為合格；復檢結果如仍有不合格，則判定該批產品為不合格。7.3型式檢驗有下列情況之一時，應進行型式檢驗：a)產品定型鑒定或產品轉廠生產時；b)正式生產后，如設備、原材料、工藝有改變，可能影響產品的質量時；c)停產12個月及以上，恢復生產時；d)批量生產時，每隔12個月進行一次。7.3.2抽樣方案抽樣應在7.2.1規定的組批中進行。在該批產品中隨機抽取樣品，抽樣按GB/T2828.1的規定執行。7.3.3合格判定按照表6的型式檢驗項目進行檢驗，各檢驗項目符合要求時，則判型式檢驗合格；若有一項不符合要求，則判型式檢驗不合格。8標志、包裝、運輸和貯存包裝盒應成箱包裝，并貼有產品標簽。包裝箱內應有裝箱單，外側應有“小心輕放”“防潮”“易碎”“防腐”等標識。標簽內容應至少包括：b)產品名稱、牌號，數量及重量；c)本文件編號；d)供方名稱；e)批號及日期。78.2包裝8.2.1通用要求金剛石多晶片應使用有防玷污、防碎裂、防擦傷保護的專用包裝盒包裝。8.2.2內包裝內包裝應符合以下要求：a)內包裝為專用的潔凈片盒，再用潔凈的氣泡袋密封；b)片盒貼有產品標簽。8.2.