GB-T 47753-2026《微機電系統（MEMS）技術 車規級MEMS半導體氣體傳感器技術規范》

GB/T47753-2026微機電系統(MEMS)技術車規級MEMS半導體氣體傳感器技術規范本文件規定了車規級MEMS半導體氣體傳感器的分類、基本參數、性能要求、試驗方法。本文件適用于采用MEMS工藝制作的車規級MEMS半導體氣體傳感器的設計、生產和檢驗。包括車內/外空氣質量傳感器、車載人體呼出氣體傳感器、汽車尾氣傳感器、新能源車動力安全氣體傳感器(如車用動力電池安全氣體傳感器和燃料電池車安全氣體傳感器)等。2規范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T2423.1電工電子產品環境試驗第2部分試驗方法試驗A:低溫GB/T2423.2電工電子產品環境試驗第2部分試驗方法試驗B:高溫GB/T2423.3環境試驗第2部分：試驗方法試驗Cab:恒定濕熱試驗GB/T2423.5環境試驗第2部分：試驗方法試驗Ea和導則：沖擊GB/T2423.17環境試驗第2部分：試驗方法試驗Ka:鹽霧GB/T28046.1道路車輛電氣及電子設備的環境條件和試驗第1部分：一般規定3術語和定義下列術語和定義適用于本文件。[MEMS半導體氣體]傳感器[MEMSsemiconductor]gassensor采用MEMS技術加工工藝、利用半導體材料的電導率變化，將感知的氣體濃度轉換成可輸出電信號的器件。零點輸出zerooutput在清潔空氣中，MEMS半導體氣體傳感器處在穩定工作狀態時的信號輸出值。[來源：GB/T7665—2005,3.5.1.29,有修改]零點漂移zeroshift在清潔空氣中，MEMS半導體氣體傳感器上電達到穩定工作狀態后，在規定的時間內其零點輸出的變化量。工2響應時間responsetime在試驗條件下，MEMS半導體氣體傳感器接觸規定檢測濃度目標氣體后，傳感器輸出變化量達到其輸出變化總量的90%時所需要的時間。[來源：GB/T7665—2005,3.5.1.92,有修改]恢復時間recoverytime在試驗條件下，MEMS半導體氣體傳感器脫離被測氣體至傳感器輸出變化量達到其輸出變化總量的90%時所需要的時間。相對誤差tolerancesMEMS半導體氣體傳感器在規定濃度的標準氣體下，穩定工作狀態時輸出信號對應轉換的濃度值相對標準氣體真實濃度值的偏離程度。靈敏度sensitivityMEMS半導體氣體傳感器在清潔空氣中的穩定信號輸出值與通入規定濃度檢測氣體中時穩定信號輸出值之比。[來源：GB/T4475—1995,2.6.2.11,有修改]靈敏度漂移sensitivityshiftMEMS半導體氣體傳感器上電達到穩定工作狀態后，將傳感器處于規定環境中工作時，在規定的時間內其靈敏度隨著時間變化，靈敏度的相對變化值。[來源：GB/T7665—2005,3.5.1.74,有修改]重復性repeatability在規定時間內，將MEMS半導體氣體傳感器上電達到穩定工作狀態后，對特定濃度氣體連續多次測量所得傳感器靈敏度的標準偏差。穩定性stabilityMEMS半導體氣體傳感器在一個較長的時間內保持其氣敏恒定的能力。揮發性有機化合物volatileorganiccompounds;VOC參與大氣光化學反應的揮發性有機化合物，或者根據有關規定確定的揮發性有機化合物。[來源：GB/T18582—2020,3.5,有修改]根據MEMS半導體氣體傳感器(以下簡稱“傳感器”)在汽車中的主要用途，傳感器分為表1所列的3表1傳感器分類1a)測量汽車內的環境空氣質量，包含一氧化碳、VOC等氣體的濃度；b)測量汽車外環境空氣質量，包含氨氣、硫化氫、VOC、一氧化2a)車用動力電池安全氣體傳感器，檢測電池包熱失控時產泄漏產生氣體的濃度，包含一氧化碳、氫氣、硫化氫等；b)車用燃料電池安全氣體傳感器，檢測燃料電池氣體泄漏時目標氣34車載人體呼出氣體傳a)測試車內駕駛員呼出氣體中的酒精含量；5基本參數5.1工作溫度范圍按照GB/T28046.1中對電子及電氣設備在汽車中安裝位置的分類，除另有規定外，根據傳感器安裝位置和工作環境要求，按照傳感器的工作溫度范圍不同，分為1級、2級、3級3個等級，見表2。表2傳感器工作溫度范圍工作溫度范圍1級一40℃~125℃一40℃~105℃乘客艙(陽光直射處)、外部/腔體內—40℃~85℃乘客艙(非陽光直射處)、行李艙或者貨艙內5.2功能執行狀態等級依據傳感器受到電磁干擾期間和之后的功能狀態，對其狀態等級進行定義。a)A級：傳感器在施加干擾期間和之后，能執行其預先設計的所有功能，由于干擾所引起的性能誤差皆在設計誤差范圍之內。b)B級：傳感器在施加干擾期間，所有功能滿足設計要求，但允許有一個或多個超出規定誤差。在停止施加干擾之后所有功能應自動恢復到正常運行。c)C級：傳感器在施加干擾期間，有一個或多個功能不滿足設計要求，但停止施加干擾后傳感器所有功能應能自動恢復到正常運行。d)D級：傳感器在施加干擾期間，有一個或多個功能不滿足設計要求且停止施加干擾后不能自動恢復到正常運行狀態，需要對傳感器進行重啟后，所有功能可恢復到正常運行。e)E級：傳感器在施加干擾期間和之后，有一個或多個功能不滿足設計要求且停止施加干擾后對4傳感器進行操作重新激活后仍不能恢復到正常運行狀態，需要對裝置/系統進行修理或更換。5.3工作電壓除非另有規定，傳感器工作電壓范圍為直流0.8V～48V,典型電壓為直流(3.3±0.05)V、(5±5.4工作環境要求除非另有規定，傳感器應能在以下環境中正常工作：a)工作溫度：按表2;b)相對濕度：10%～95%,無凝露；6性能要求傳感器外觀應符合以下要求：a)傳感器的外觀無目視可見的瑕疵、銹蝕和損傷，標志清晰完整、準確；b)傳感器表面無變形、無缺損、無裂紋、無劃傷；c)傳感器引腳切口整齊、無銹蝕、無變形。6.2外形及尺寸傳感器尺寸及安裝的公差尺寸應符合產品圖紙的規定。傳感器零點漂移不應超過±20%。6.4響應時間傳感器的響應時間不應大于30s。6.5恢復時間傳感器的恢復時間不應大于60s。6.6靈敏度傳感器靈敏度的相對誤差范圍不應超過±20%。6.7靈敏度漂移傳感器靈敏度漂移不應超過±20%。6.8重復性傳感器按照7.8的規定進行試驗，傳感器的重復性不應大于10%。56.9長期穩定性傳感器在7.9規定的條件下連續工作一段時間后，靈敏度的相對誤差不應超過±10%。6.10環境耐受性傳感器應能耐受表3規定環境條件下的環境耐受習性各項試驗。試驗期間，處于正常工作狀態的傳感器不應出現故障輸出。試驗后，傳感器表面應無涂層破壞和腐蝕現象。按照7.6試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。表3環境試驗條件持續時間持續時間持續時間-40℃~85℃單溫度持續時間—25℃~80℃單溫度持續時間試驗持續時間6.11機械耐受性傳感器應能耐受表4、表5規定的機械環境條件下的跌落試驗及振動試驗，根據傳感器不同的安裝位置選擇不同級別的振動試驗嚴酷等級進行試驗。試驗后，外觀應無破損，敏感材料及零件無脫落。按照7.6試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。表4跌落試驗條件6表5振動試驗條件(B級)加速幅值/(m/s2)掃頻速率/(OCT/min)振動方向(軸向)除另有規定外，根據傳感器在車上應用情況按照GB/T28046.1對電子及電氣設備安裝位置的分類，規定了不同振動嚴酷度的試驗方法。其振動試驗分為A級、B級2個等級，見表6。表6振動試驗等級發動機艙(處于高頻振動區域)內部、外部或者腔體內乘客艙、行李艙或者貨艙內(非高頻振動安裝位置)、外部/腔體內6.12方位靈敏度將傳感器按照7.12的試驗條件進行方位靈敏度試驗，試驗后，按照7.6的試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。6.13高濃度氣體耐久性將傳感器按照7.13的試驗條件進行高濃度氣體耐久性試驗，試驗后，按照7.6的試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。6.14抗干擾性將傳感器按照7.14的試驗條件進行傳感器抗干擾試驗，試驗后，按照7.6的試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。6.15耐硅中毒性能將傳感器按照7.15的試驗條件進行傳感器耐硅中毒試驗，試驗后，按照7.6的試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。6.16鹽霧試驗將傳感器按照7.16的試驗條件進行鹽霧試驗，試驗后，按照7.6的試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度相對誤差不應超過6.6規定的靈敏度相對誤差的2倍。6.17電磁兼容性6.17.1靜電放電傳感器經外殼設計或電路設計保護后應能耐受表7規定的靜電放電抗擾度性能的各種試驗。試驗7期間，處于通電狀態的傳感器不應出現異常信號輸出；試驗后，外觀應無破損，零件無脫落且功能執行狀態等級應滿足表7所規定的等級要求，并按照7.6的試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的靈敏度相對誤差的2倍。項目類別I類IV類空氣放電正、負放電間隔時間10次不易接觸到的傳不易接觸到的傳感器或非運行狀易接觸到的傳正常工作時車外人體易接觸到的至少B級至少B級至少C級6.17.2射頻電磁場抗擾度性能傳感器經外殼設計或電路設計保護后應能耐受表8規定的電磁干擾條件下的各種試驗。試驗期間，處于通電狀態的傳感器不應出現異常信號輸出；試驗后，外觀應無破損，零件無脫落且功能執行狀態等級應滿足表8所規定的等級要求，試驗后，按照7.6試驗方法進行傳感器靈敏度測試，傳感器靈敏度應滿足6.6規定的性能要求。表8射頻電磁場抗擾度要求頻率范圍電流或電場等級1AB等級1AABBC7試驗方法7.1試驗大氣條件除另有規定外，各項試驗均應在下述大氣條件下進行：8——溫度：(25±5)℃;——相對濕度：45%～75%;針對人體呼出氣體傳感器的測試條件為：——溫度：(34±5)℃;——相對濕度：(90±5)%;——大氣壓力：86kPa～106kPa。7.2一般性能檢測7.2.1外觀檢查目視或使用顯微鏡檢查傳感器的外觀是否符合6.1的外觀要求。7.2.2外形檢測通過長度測量工具測量傳感器的尺寸是否符合要求。7.2.3預處理當傳感器需要通電檢測時，試驗前對傳感器進行預處理，應在7.1規定的大氣條件下通電預熱至少1h,使傳感器達到穩態輸出后再進行下一步檢測或試驗。7.2.4恢復傳感器經過環境試驗或可靠性試驗后，應進行恢復，將傳感器置于常溫清潔空氣并進行通風處理相應時間(至少2h),然后在7.1的大氣條件下通電預熱至少4h后，達到穩態輸出后再進行下一步檢測或試驗。7.3零點漂移試驗將傳感器置于試驗箱(可選擇附錄A或者附錄B中任一種)中，環境溫度設定為25℃±2℃,相對濕度設定為(50±5)%,首先向試驗箱中通入清潔空氣，待傳感器信號輸出穩定后記錄輸出值，為零點輸出(Z。)。傳感器在以上環境中，連續工作24h,每小時記錄傳感器的零點輸出值(Z?;)后按照公式(1)計算傳感器的零點漂移(δ)。Zoi——第i次測量時測試傳感器零點輸出值；Z。——第1次試驗開始測試傳感器零點輸出值；N——測量次數。7.4響應時間試驗將傳感器置于附錄A的靜態氣體濃度配制試驗箱中，環境溫度設定為25℃±2℃,相對濕度設定為(50±5)%,試驗箱中環境為清潔空氣，傳感器在正常工作電壓下通電并預熱，傳感器達到穩定的信號輸出后，向試驗箱中注入目標濃度的待測目標氣體并開始計時，待傳感器信號輸出值達到輸出值變化總量的90%時，計算傳感器的響應時間。設定氣體濃度可采用傳感器標記量程下限的5倍或10倍濃9度，可根據不同氣體種類選取。7.5恢復時間試驗將傳感器置于附錄A的靜態氣體濃度配制試驗箱中，環境溫度設定為25℃±2℃,相對濕度設定為(50±5)%,傳感器在設定濃度標準氣體氛圍中輸出信號穩定后，將試驗箱中目標氣置換成清潔空氣，待傳感器的信號輸出值達到輸出值變化總量的10%時，計算其恢復時間值。設定氣體濃度可采用傳感器標記檢測范圍下限的5倍或10倍濃度，可根據不同氣體種類選取。7.6靈敏度試驗將傳感器置于附錄B的動態氣體濃度配制試驗箱中，根據7.1規定的試驗條件，首先固定一定流量向試驗箱通入清潔空氣，傳感器通電并達到穩定工作狀態后，記錄傳感器的信號輸出值(Z。)。然后向試驗箱中通入經混合后特定濃度的標準氣體，使試驗箱內的氣體濃度達到特定氣體濃度值(可采用傳感器標記檢測范圍下限的5倍或10倍濃度)并開始計時，保持至少5min,觀察傳感器的信號輸出值(Z?),按照公式(2)計算傳感器靈敏度(S)。式中：S——傳感器靈敏度；Z。——傳感器的零點輸出值；Z,——試驗氣體特定濃度下傳感器輸出值。7.7靈敏度漂移試驗按照7.6的測試方法測試傳感器的零點輸出值(Z?)及傳感器在特定目標氣體濃度氛圍中的信號輸出值(Z,)。每隔2h重復進行上述試驗操作步驟，共循環測試6次并計算傳感器靈敏度(S),按照公式(3)計算靈敏度漂移(θ)。式中：θ——靈敏度漂移；Z———第i次測量時的通入典型氣體濃度標準氣體時的信號輸出值；Z——第1次試驗開始通入典型氣體濃度標準氣體時的信號的輸出值；N—測量次數。7.8重復性試驗按照7.6規定的測試方法，將傳感器置于清潔氣體環境中通電并達到穩定工作狀態后，向試驗箱通入被測目標氣體，待傳感器輸出信號穩定后計算傳感器的靈敏度，同一個傳感器連續重復測試6次，計算6次測試所得傳感器靈敏度的標準差。7.9長期穩定性試驗按照7.6規定的試驗方法測試傳感器的初始靈敏度，然后將傳感器置于7.1規定的試驗大氣環境下連續通電工作28d后，按照7.6規定的試驗方法再次測試傳感器的靈敏度，計算2次傳感器靈敏度的相對偏差。7.10環境耐受性試驗7.10.1高溫試驗按照GB/T2423.2的試驗方法，傳感器在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，按照表3的試驗參數，首先使試驗箱內氣體溫度升高至85℃,并保持96h后，降至常溫。試驗后，將傳感器按照7.2.4的方法恢復至少4h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.10.2低溫試驗按照GB/T2423.1的試驗方法，傳感器在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，按照表3的試驗參數，首先使試驗箱內氣體試驗溫度降至—40℃,并保持24h后，升至常溫。試驗后，將傳感器按照7.2.4的方法恢復至少12h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.10.3恒定濕熱試驗按照GB/T2423.3的試驗方法，傳感器在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，按照表3的試驗環境中恒定濕熱條件規定進行恒定濕熱試驗，溫度控制在85℃±2℃,相對濕度控制在(85±5)%,試驗時間至少96h,試驗后，將傳感器按照7.2.4的方法恢復至少24h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.10.4溫度沖擊試驗按照GB/T2423.5試驗方法，傳感器處于非工作狀態，根據表9所示試驗條件進行溫度沖擊試驗，溫度沖擊包含多次溫度循環，每個循環周期包含T?和T?兩個試驗溫度，每次循環進行從T?到T?的溫度切換時間不大于3min,傳感器所處溫度為室溫時，試驗箱內溫度穩定到T?或者T2所需要的時間不大于3min。試驗推薦周期為5個循環、10個循環、30個循環、50個循環。試驗后按照7.2.4條件恢復至少24h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。表9溫度沖擊試驗條件℃試驗時間h7.10.5溫度循環試驗按照7.1規定的試驗環境要求，傳感器在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，根據表10所示試驗條件進行溫度循環試驗，每個循環周期包含步驟一和步驟二，試驗持續時間宜采用168h。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少24h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。表10溫度循環試驗條件℃試驗時間h步驟一227.11機械耐受性試驗7.11.1跌落試驗將傳感器處于不通電或非工作狀態，按表4規定的試驗條件進行跌落試驗。嚴酷等級：掉落高度1.0m,自由落下至平滑、堅硬的混凝土地面上共2次。試驗后檢查傳感器外觀，然后按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.11.2振動試驗傳感器處于不通電或非工作狀態，將傳感器固定在振動試驗臺上，啟動振動試驗臺，按照表5規定的傳感器的不同安裝位置選擇不同嚴酷等級的振動試驗方法進行試驗。試驗后檢查傳感器外觀是否破損，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.12方位靈敏度試驗按照7.1規定的試驗環境要求，將傳感器置于試驗箱(可選擇附錄A或者附錄B中任一種)中，傳感器在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，分別在X軸、Y軸、Z軸3個相互垂直的軸向進行靈敏度試驗。每個軸在0°~360°范圍測試，順時針每旋轉45°方位進行一次試驗，按照7.6的試驗方法檢測傳感器每個軸上每個方位的傳感器靈敏度。7.13高濃度氣體耐久性試驗按照7.1規定的試驗環境要求，將傳感器置于試驗箱(可選擇附錄A或者附錄B中任一種)中，在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，將傳感器標記檢測范圍上限濃度的2倍的氣體濃度檢測范圍的檢測氣體通入試驗箱，保持8h。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少1h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.14抗干擾性試驗按照7.1規定的試驗環境要求，將傳感器置于試驗箱(可選擇附錄A或者附錄B中任一種)中，在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，向試驗箱中通入濃度為0.6%(體積分數)乙酸氣體并保持30min,試驗后取出使傳感器正常通電1h,按照7.6的要求進行傳感器的靈敏度試驗。試驗后使傳感器保持正常通電狀態24h后將其置于濃度為0.2%(體積分數)的乙醇氣體環境中保持30min,試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少1h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.15耐硅中毒性試驗按照7.1規定的試驗環境要求，將傳感器置于試驗箱中(可選擇附錄A或者附錄B中任一種),在正常工作電壓下通電并預熱，待傳感器信號輸出穩定后，向試驗箱中通入濃度為10×10-?(體積分數)六甲基二硅醚，保持1h。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少4h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.16鹽霧試驗按照GB/T2423.17進行試驗，與GB/T2423.17不同的是，將外觀保護設計好的傳感器置于鹽霧試驗箱內，箱內溫度為35℃±2℃,傳感器處于非工作狀態，使用質量濃度比為(5±0.1)%的氯化鈉水溶液連續噴霧24h。取出傳感器后，用pH值在6.5～7.2的去離子水、棉布將傳感器表面鹽層擦拭至少2次后，在室溫環境下自然晾干至少4h。試驗后，檢查傳感器樣品外觀，并進行試驗前后狀態比對。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少12h后，按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.17電磁兼容性試驗7.17.1靜電放電按照7.1規定的試驗大氣環境要求，將經外殼設計或電路設計保護后的傳感器進行靜電放電抗擾度試驗，環境相對濕度應小于60%。測試時，按照表7中傳感器的類別選擇放電參數，同時依照先接觸放電后空氣放電的原則，依次進行，每個放電試驗應執行3次測試。測試時，正常運行模式或工作狀態下傳感器放電網絡的選擇：I類~Ⅲ類采用330pF/330Ω,IV類測試采用150pF/330Ω。非正常運行模式或非工作狀態下傳感器的網絡選擇：Ⅱ類采用150pF/330Ω。通電模式測試放電點的選擇，應覆蓋產品在實車正常使用時，可能被人觸及的所有典型放電點位置。斷電模式測試放電點的選擇，應覆蓋可能被人觸及的所有典型放電點位置。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少24h后，將傳感器按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.17.2射頻電磁場輻射抗擾度(BCI)按照7.1規定的試驗大氣環境要求，將經外殼設計或電路設計保護后傳感器進行射頻電磁場輻射抗擾度試驗，試驗采用“替代法”,在電磁屏蔽室或半電波暗室內進行。測試時，傳感器距離負載箱/人工電源網絡的距離為1700mm。試驗過程中頻率范圍為1MHz～400MHz,試驗布置應區分差分大電流注入和共模大電流注入2種注入模式：采用差分大電流注入布置(1MHz～30MHz),電流注入探頭應置于距傳感器接插件150mm和450mm位置分別進行測試，傳感器電源回線應置于大電流注入探頭的外部，傳感器其他線束應置于探頭內部；采用共模大電流注入布置(30MHz～400MHz),電流注入探頭應置于距傳感器接插件450mm和750mm位置分別進行測試。傳感器所有線束應置于大電流注入探頭的內部。傳感器若有多個接插件，則每個獨立的接插件線束均需要進行上述1MHz～400MHz的測試。按照表8中等級2的參數進行試驗，如果傳感器不能滿足試驗要求，應逐漸降低注入電流值，直至傳感器正常工作，然后逐漸增加注入電流值直至傳感器出現異常，試驗報告中需要記錄此時的頻率和電流值。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少24h后，試驗后將傳感器按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。7.17.3射頻電磁場輻射抗擾度(ALSE)按照7.1規定的試驗大氣環境要求，將設計好的傳感器進行射頻電磁場輻射抗擾度試驗，試驗采用替代法在半電波暗室內進行。按照表8中等級2的參數進行試驗，如果在等級2條件下，產品性能狀態能夠達到A等級，則可不進行等級1測試。天線垂直極化和水平極化2種狀態均需要進行測試。1GHz以上頻段，應對傳感器3個正交平面方向分別進行測試。如果傳感器不能滿足試驗要求，應逐漸降低干擾場強，直至傳感器正常工作，然后逐漸增加干擾場強直至傳感器出現異常，試驗報告中需要記錄此時的頻率和場強值。試驗后按照7.2.4試驗條件恢復至少24h后，將傳感器按照7.6的要求進行傳感器靈敏度試驗。(資料性)靜態氣體濃度配制試驗箱與氣體濃度靜態配制方法A.1靜態氣體濃度配制試驗箱靜態氣體濃度配制試驗箱主體為一定形狀的試驗箱體，試驗箱體積可大于被檢樣品體積的3倍，氣體檢測箱的密封性要好。氣箱體外側可有氣體進樣口，用于靜態配氣高度濃度氣體輸入，側面可有液體進樣口，用于注樣器注入液態配氣所需液體，箱體側面可安置液體加熱裝置，注射液體前開啟加熱裝置電源，注樣液體至加熱裝置上1min確保注樣液體完全汽化后關閉加電源。箱體內可內置風機(具體的風機的數量可根據箱體的大小來定)可用于箱內氣體混勻。箱體內部或外部可設置氣體分析儀用于實時監測箱內氣體濃度。箱體內部同時可有壓力監測裝置和溫濕度監測裝置，用于實時監測箱內氣體的溫度和壓力，具體結構分布可參考圖A.1所示靜態氣體濃度配制試驗箱。標引序號說明：9873——液體進樣口；4——液體加熱裝置；5——壓力傳感器；6——溫濕度傳感器；8——氣體濃度檢測設備；9——氣體進樣口。圖A.1靜態氣體濃度配制試驗箱A.2氣體濃度靜態配制方法A.2.1氣體靜態配制方法如下：a)靜態配氣通過理論計算并對氣體測試箱體內氣體濃度實時在線分析，實現精準配氣，靜態配氣通過