GB/T 31470-2015俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試中確定檢測信號對應樣品區域的通則

ICS1722020

N26..

中華人民共和國國家標準

GB/T31470—2015

俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試

中確定檢測信號對應樣品區域的通則

Standardpracticefordeterminationofthespecimenareacontributingto

thedetectedsignalinAugerelectronspectrometersandsome

X-rayphotoelectronspectrometers

2015-05-15發布2016-01-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31470—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位信息產業專用材料質量監督檢驗中心中國電子技術標準化研究院蘇州晶瑞化

:、、

學有限公司天津中環領先材料技術有限公司

、。

本標準主要起草人李雨辰何秀坤劉筠劉兵李翔

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31470—2015

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜廣泛地應用于材料的表面分析本標準總結了對于具有聚焦

X。

電子束或聚焦射線束功能的儀器當可掃描區域大于樣品被分析器檢測到的區域使得通過選擇電

X,,

子能量分析器的運行條件來確定觀察到的樣品區域的方法樣品被觀察到的區域依賴于電子在能量分

。

析之前是否被減速分析器的通過能或者減速比如果電子在能量分析之前被減速所選擇的狹縫或孔

、,,

徑及電子能量值可以被測出被觀察到的區域依賴電子能量分析器運行條件的選擇也可能與樣品的適

。

當的調整有關

。

本標準可以給出電子能量分析器在特定的運行條件下成像特性的信息這個信息對將分析器性能

。

與廠商說明書中所描述的進行比較具有一定幫助

。

Ⅱ

GB/T31470—2015

俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試

中確定檢測信號對應樣品區域的通則

1范圍

本標準規定了俄歇電子能譜和部分類型的射線光電子能譜檢測信號對應樣品區域的確定方法

X。

本標準適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的射線光電子能譜入射光束激發的樣品區域

X:X

大于分析器可檢測到的樣品區域光電子從樣品到分析器入口的過程中經過自由空間裝配有輔助電子

;;

槍可以產生一束可變能量的電子束照射到樣品上

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

俄歇電子能譜術和射線光電子能譜術的樣品處理標準導則

SJ/T10458—1993X

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4縮略語

下列縮略語適用于本文件

。

俄歇電子能譜

AES:(Augerelectronspectrometer)

射線光電子能譜

XPS:X(X-rayphotoelectronspectrometer)

半高峰寬

FWHM:(fullwidthathalfmaximum)

5儀器

51試樣

.

建議被測樣品是金屬箔一類的導體橫向的尺寸大于電子能量分析器檢測區域的尺寸試樣晶粒

,。

尺寸應小于分析器預期的空間分辨率或者入射電子束的直徑以避免溝道效應或衍射效應造成的假象

,。

樣品表面應光滑沒有刮痕以及憑肉眼可以觀察到的類似缺陷使用離子濺射或其他方法來清除

,,。

樣品表面沾污例如氧化物吸附的碳氫化合物等表面潔凈度可以用或測量進行驗證

(,、),AESXPS。

52電子