CN114690596B 對準裝置、光刻機及對準方法 （上海微電子裝備（集團）股份有限公司）

號一光束和第三光束經光柵標記發生衍射并產生經第一偏振分光棱鏡分為第一偏振光和第二偏2所述分光單元包括第一鏡組和第二鏡組；所述第一鏡組用于將所述光照轉為具有第一偏振方向的第三光束；所述第一光束和所述第三光束經一光柵標記發生衍其中，當移動所述光柵標記至所述第一探測器和所述第二探所述第一光束經所述第二偏振分光棱鏡反射至所述第二光束透過所述第二偏振分光棱鏡進入所述第三偏振分光鏡反射后形成所述第三光束，所述第三偏振分光棱鏡將所述第三光束反射至所述光柵標所述第一光束和所述第三光束經所述光柵標記發生衍射，并分別產其中，所述第一光束的衍射光經所述第三偏振分光棱鏡反射后次透過所述第三偏振分光棱鏡和所述第二偏振分光棱鏡后傳播至所述第三光束的衍射光經所述第二偏振分光棱鏡反射至所述3所述第一光束經所述第四偏振分光棱鏡反射至所述第二光束透過所述第四偏振分光棱鏡并經所述第三波片透射后，依所述第一光束和所述第三光束經所述光柵標記發生衍射，并分別產其中，所述第一光束的衍射光經所述第五偏振分光棱鏡反所述第三光束的衍射光經所述第四偏振分光棱鏡反射至所述所述第一光束先經所述第六偏振分光棱鏡反射，再依次經所述第六反射所述第二光束透過所述第六偏振分光棱鏡后，經所述第四波片透射所述第一光束和所述第三光束經所述光柵標記發生衍射，并分別產其中，所述第一光束的衍射光先經所述第七偏振分光棱鏡所述第三光束的衍射光先依次經所述第九反射鏡、所述第八反射鏡、4所述第一光束經所述第一鏡組后，依次經所述第五波片和所述第所述第三光束經所述第七波片透射，改變偏振方向為左旋偏振，并所述第一光束和所述第三光束經所述光柵標記分別產生所述第一光束的衍射光和所所述第三光束的衍射光依次經所述第六波片和所述第五波片透射后，所述第一光束的衍射光經所述第七波片透射后，改變偏振方向為第其中，所述第一光束和所述第三光束經所述物鏡傳播至所所述光照經所述分光單元中的所述第一鏡組，將所述光照分為所述第一光束和所述第三光束經一光柵標記發生衍射，并分別產生第一所述第一光束的衍射光和所述第三光束的衍射光經所述第一波所述第一探測器獲取第一偏振光的光能量，所述第二探測器獲取第二偏振光的光能移動工件臺以帶動所述光柵標記移動，當所述第一探測器和所述5[0002]在集成電路制造技術領域中，光刻機能夠將掩模版圖案施加至硅片(也可以稱為6再依次透過所述第三偏振分光棱鏡和所述第二偏振分光棱鏡后傳播至所7[0042]所述第一光束和所述第三光束經所述光柵標記分別產生所述第一光束的衍射光[0044]所述第一光束的衍射光經所述第七波片透射后，改變偏8[0053]所述第一光束的衍射光和所述第三光束的衍射光經所述第一波片后改變偏振方9[0068]PBS1-第一偏振分光棱鏡；PBS2-第二偏振分光棱鏡；PBS3-第三偏振分光棱鏡；[0072]所述光照單元10用于提供光照。所述光照單元10包括發光器101和第三鏡組10所述發光器提供具有至少一種波長以及至少一種偏振方向的光照，且所述光照為線偏振[0073]所述分光單元20包括第一鏡組201和第二鏡組202。所述第一鏡組201用于將所述述第一光束a的衍射光依次經所述第二鏡組202和所述第一鏡組201后進入所述探測單元變偏振方向為+45度偏振方向和\或-45度偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向一偏振分光棱鏡PBS1分為第一偏振光和第二偏振光。所述第一探測器301獲取第一偏振光[0075]當移動所述光柵標記M至所述第一探測器301和所述第二探測器302分別獲取的所束c的衍射光和所述第一光束a的衍射光的光路方向，本實施例的圖示中均僅標出+1/-1級次衍射光來替代對應的所述第三光束c的衍射光和所述第一光束a的[0078]所述光照經所述第二偏振分光棱鏡PBS2，被分為具有第一偏振方向的第一光束a柵標記M上，所述第二光束b透過所述第二偏振分光棱鏡PBS2進入所述第二鏡組202中。因經所述第二波片2021透射以及所述第一反射鏡2022反射。再次經所述第二波片2021透射。傳播至所述第三偏振分光棱鏡PBS3。則所述第一光束a的衍射光經所述第三偏振分光棱鏡束a的衍射光依次透過所述第三偏振分光棱鏡PBS3和所述第二偏振分光棱鏡PBS2，進入探[0081]具有第一偏振方向的所述第三光束c的衍射光和具有第二偏振方向的所述第一光束c的衍射光和所述一光束a的衍射光的偏振方向均偏轉45度，為+45度偏振方向和\或-45[0082]當移動所述光柵標記M至所述第一探測器302和所述第二探測器303分別獲取的所[0087]所述第一探測302獲取的第一偏振光中具有的所述第一光束的-1級衍射光的光能[0089]所述第二探測303獲取的第二偏振光中具有的所述第一光束的-1級衍射光的光能[0091]所述第三光束的+1級衍射光依次經過物鏡40，第二偏振分光棱鏡PBS2,第一波片[0092]所述第一探測302獲取的第一偏振光中具有的所述第三光束的+1級衍射光的光能[0094]所述第二探測303獲取的第二偏振光中具有的所述第三光束的+1級衍射光的光能公式中下標為1和2，分別表示對應光束為第一偏振方向的光和第二偏振方[0097]所述第一光束的-1級衍射光和所述第三光束的+1級衍射光經所述第一波片301述第三光束c的+1級衍射光經所述第一光束a的逆光路，故所述第一光束a的-1級衍射光和所述第三光束c的+1級衍射光的光程相同，則所述第一探測302和所述第二探測器303最終移x變化包括第一方向的位移量和第二方向的位移量，且所述第一方向和所述第二方向相[0104]所述光照經所述分光單元20中的所述第一鏡組201，將所述光照分為具有第一偏202將所述第二光束a轉為具有第一偏振方向的第[0105]所述第一光束a和所述第三光束c經所述光柵標記M發生衍射，并分別產生第一光述第一鏡組201后進入所述探測單元30，所述第三光束c的衍射光經所述第一鏡組201后進[0106]所述第一光束a的衍射光和所述第三光束c的衍射光經所述第一波片301后改變偏振方向為+45度偏振方向和\或-45度偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分振分光棱鏡PBS1分為第一偏振光和第二器302獲取的所述光能量I1和所述第二探測器303獲取的所述光能量I2之間的關[0116]所述對準裝置包括圖2所示分光單元20。所述對準裝置的其余部件可參見實施例四偏振分光棱鏡PBS4，所述第二鏡組包括第三波片2023、第二反射鏡2024、第三反射鏡因所述第三波片為二分之一波片，故所述第二光束b的偏振方向有第二偏振方向變為第一的偏振方向為第一偏振方向，則所述第二光束b經所述第五偏振分光棱鏡PBS5反射形成所路傳播。具有第一偏振方向的所述第三光束c的衍射光經所述第四偏振分光棱鏡PBS4反射2024的反射以及所述第三波片2023透射后，所述第一光束a的衍射光的偏振方向變為第二[0122]其中，圖2中僅標注了第一方向X上分布的所述第一光束a的-1級衍射光以及所述射光，但在對準測量過程中還包括所述光柵標記M在所述第一方向X與第二方向Y形成的平面內的方向上分布的所述第三光束c的衍射光和所述第一光束a束a和第三光束c投影至硅片上的光斑大小也不一致，進而導致產生的衍射光能量有差異，可調。二鏡組202包括第四波片2028和所述第七偏振分光棱鏡PBS7。所述第四波片2028為二分之二偏振分光棱鏡PBS2關于Z軸對稱，所述第七偏振分光棱鏡PBS7設置方式與實施例一中的[0129]所述第一光束a和所述第三光束c經所述物鏡40傳播至所述光柵標記M上發生衍所述第二鏡組202和所述第一鏡組201后進入所述探測單元30，所述第三光束c的衍射光經[0130]所述第一光束a的衍射光和所述第三光束c的衍射光經所述第一波片301后改變偏振方向為+45度偏振方向和\或-45度偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分[0133]所述第一光束a的衍射光具有第一偏振方向，則經所述第七偏振分光棱鏡PBS7反述第七偏振分光棱鏡PBS7為邊長為h的正方體。所述等腰直角三棱鏡的一直角邊所在面緊2013和所述第九反射鏡2014的大小與所述等腰直角三棱鏡的斜面相同。所述第七反射鏡第八反射鏡2013和所述第九反射鏡2014相互平行設置，且之間間距為h。所述第七反射鏡[0135]如圖5所示，所述光照從進入所述第六偏振分光棱鏡PBS6至從所述第九反射鏡[0136]所述光照從進入所述第六偏振分光棱鏡PBS6至從所述第七偏振分光棱鏡PBS7射有多種波長以及多種偏振方向的所述光照，本實施例中的所述光照單元10還包括合束器將所述第一偏振光恢復為具有多種波長的第一光信號；所述第二分束器305用于將所述第[0140]同時，為避免光柵標記M對第一偏振方向的光束響應能量低導致獲取的光信號較波片60和第七波片70均為四分之一波片。當所述第一光束a經過所述第五波片50透射后所述第一光束a的