GB/T 8758-2006砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國國家標準GB/T8758—2006代替GB/T8758-1988砷化家外延層厚度紅外干涉測量方法Measuringthicknessofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterference2006-07-18發布2006-11-01實施中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局愛布中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國國國家標準神化鑲外延層厚度紅外干涉測量方法GB/T8758-2006中國標準出版社出版發行北京西城區復興門外三里河北街16號郵政編碼：100045電話：010)51299090、685220062006年10月第一版書號：155066·1-28139版權專有侵權必究舉報電話：（010)68522006

GB/T8758—2006本標準是對GB/T8758—1988《砷化鏢外延層厚度紅外干涉測量方法》的修訂。本標準自實施之日起代替GB/T8758-1988本標準與GB/T8758—1988相比主要變動如下-原標準表述儀器要求的3.1.3條使用了波數表示法,為了和其他條款的表述一致,改為波長表示法。原標準規定,為測定儀器的波長精度和重復性，要測量聚苯乙烯膜的吸收帶十次。但未規定是按固定周期還是在每次測量前做這項工作，也沒有規定如果在這十次測量結果中出現一次或幾次不符合要求時應如何處理,不便于實際操作。修改后規定為每次打開儀器按儀器說明書的要求預熱一定時間后，在正式測量前進行一次測量聚苯乙烯膜的吸收帶的校準，本標準的附錄A為資料性附錄。本標準由中國有色金屬工業協會提出本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：北京有色金屬研究總院。本標準主要起草人：王彤涵。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會負責解釋本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：-GB/T8758-1988。

GB/T8758-2006砷化家外延層厚度紅外干涉測量方法范圍本標準適用于砷化鏢外延片外延層厚度的測量.測量厚度大于2m。要求襯底材料的電阻率小于0.02·cm.外延層的電阻率大于0.1·cm.2原理襯底材料與外延層的光學常數差別較大.當紅外光入射到外延片表面時.在反射光譜中產生干涉條紋。根據干涉條紋的極大值或極小值的波長位置、襯底材料和外延層的光學常數以及光束的入射角，可計算出外延層的厚度儀器3.1雙雙光束紅外分光光度計或傅立葉紅外光譜儀，波長范圍為2.5m～50m.或波數范圍為4000cm-1～200cm-!。3.2儀器的波長和波長重復性誤差不大于0.05gm。在10m處光譜分辨率為0.02m或更好。3.3儀器應配有反射附件，入射角不大于30°。儀器應配有黑體材料制成的多種孔徑的光闌。樣品4.1用于測量的樣品應具有良好的光學表面，不應有大面積的鈍化層.4.2襯底和外延層的導電類型及襯底的電阻率應是已知的。5測量過程5.1儀器校準5.1.1打開儀器,按說明書的要求進行預熱。測量厚度為300m～500m的聚苯乙烯膜的吸收光譜，核對3.303m吸收帶，其結果應滿足3.2的要求。5.1.2安裝反射附件后測量100%線，其峰谷值差應小于8%5.2選擇掃描速度安裝反射附件。選擇襯底和外延層電阻率分別為0.008·cm和0.12㎡·cm并且在波長大于25m處仍能觀察到極值的外延片，使用最慢的掃描速度記錄大于25m處的極小值的波長位置。逐步提高掃描速度,觀察極小值波長位置的變化，允許使用的最快掃描速度與最慢掃描速度得到的相應極小值波長之差應小于±0.12m.5.3測量5.3.1把待測樣品放置于反射附件的窗口上,測量點對準窗口,記錄反射光譜。掃描速度滿足5.2的要求。5.3.2在低于極大值或高于極小值滿刻度的約3%處作水平線，該線與反射光譜線兩焦點的中點位置即為極值的波長位置。5.