RENA清洗設備操作規

RENA清洗設備操作規程

確認外圍電力供應到位后，將電力控制柜前的紅色送電旋鈕從OFF旋到ON

設備供電后再在將冷卻器的旋鈕開關從OFF旋到ON

確認所有紅色急停按鈕拉出后到設備前方操作區域將顯示器下方的綠色ON按鈕按下

用鑰匙打開顯示器后面的門，將顯示器電源開關POWER打開

計算機系統啟動后將自動進入生產操作界面，點擊Login進入登陸界面，輸入用戶名及密碼，點擊ok進入,確認界面各模塊單元上方顯示黃色“Manual”狀態，且滾輪顯示藍色即滾動狀態

確認監測屏幕上顯示各模塊溶液均滿槽（即FullDI、FullChem)和設備門窗均關閉。EtchBath顯示NotReady，Dryer1Dryer2顯示Ready確認各模塊有無報警信息，若有任何異常，通知當班工藝工程師和設備工程師點擊Manual按鈕進入Drives菜單點擊AllConveyor，點擊Stop停止滾輪，點F10退回主界面。

點擊ModeAuto按鈕，設備進入自動模式，在界面上所有操作單元下方從黃色“Manual”轉變成綠色“Auto”設備將自動開始從Tank中向Etchbath添加腐蝕液，界面上Etchbath單元下方顯示為黃色“Fillingchemie”和黃色“notready”,等待Etchbath添加完成，等待堿槽和酸槽溫度顯示穩定，下方顯示為綠色“Fullchemie”和綠色“Ready”。隨后點擊“start”按鈕各模塊自動運行。界面顯示各模塊均為綠色“Ready”和綠色＂inprocess＂．即設備進入正常生產狀態

關機步驟確認各模塊均停止工作，點擊“Modemanual”按鈕進入手動模式點擊manual進入Drives菜單點擊AllConveyor，點擊Start啟動滾輪，點擊F10退回主界面進入“Manual”選單中“Etchbath”點擊“DrainBath”,即把Etchbath中的反應液排到Tank內，點擊F10退回主菜單，確認EtchBath模塊顯示黃色＂notready"和黃色＂draining"。等待Etchbath排液完成，在Etchbath模塊上只顯示為黃色“notready”，表明液體排完

用水槍沖洗KOH的噴淋管和槽體，并清潔設備表面檢查各門的位置，正確地調整好它們擊右上角的“Logoff”，跳出一個對話框。點擊對話框中“Logoff”，門將被密封。若生產區域的門未正確地調整好位置，Alert警報會出現。再次登錄，調整好門的位置，按F1消除警報，再登出關掉設備的顯示器，關閉電力控制柜電源開關

生產準備

穿上工作服，戴上PVC/昵絨手套，清洗操作人員需要戴上安全眼鏡、防護面具、防酸堿圍裙、長袖防酸手套確保手套沒有粘有油脂性物質，嚴禁直接接觸硅片的正反面，只允許接觸硅片的兩側，在插片過程。中禁止用手套接觸皮膚，如接觸過皮膚、頭發或者是帶有油脂的物品，請更換手套確認廠務配套各項目是否正常藥液更換蝕刻槽（etchbath）選擇菜單Manual，然后點擊etchbath在確定需要更換藥液后點擊屏幕左邊操作菜單上的BATHCHANGE，系統將自動將液體排空，再依工藝設定的清洗次數進行槽和罐的清洗，最后按照工藝設定補充相應量的藥液到儲液罐內，至此蝕刻槽的換藥結束

堿洗槽（alkalinebath）先確認機器處于手動狀態，點擊控制面板上的ManualMode選擇菜單Manual,然后點擊alkaline按下draining將堿槽的化學品排掉，等待直到圖表顯示為“Empty”(黃色)堿槽的沖洗，按下“rinsing”沖洗(屏幕的左邊)。堿槽將充滿水和開始循環。可通過程序設定沖洗次數。清洗完成之后，系統自動將水排掉，堿槽內狀態保持空的在排空槽內液體并清洗完畢后按下fillingchemie,系統將按工藝設定配比容積加入藥液

酸洗槽（acidicbath）先確認機器處于手動狀態，點擊控制面板上的ManualMode選擇菜單Manual，然后點擊acidic按下draining將酸槽的化學品排掉，等待直到圖表顯示為“Empty”(黃色)酸槽的沖洗，按下“rinsing”沖洗(屏幕的左邊)。酸槽將充滿水和開始循環。可通過程序設定沖洗次數。清洗完成之后，系統自動將水排掉，酸槽內狀態保持空的在排空槽內液體并清洗完畢后按下fillingchemie,系統將按工藝設定配比容積加入藥液其他要求在正常生產過程中，不要出現半小時的停產。若出現停產半小時以上情況，請將刻蝕槽溶液排至Tank，以保證溶液濃度穩定。若出現停產半小時以上，清洗操作人員帶好防護用品，打開KOH槽的上蓋用水槍沖洗KOH槽噴淋管，沖洗完畢后，蓋上蓋子進入正常生產無論設備是否在生產過