GB/T 15862-2012離子注入機通用規范

ICS31-550

L97

中華人民共和國國家標準

GB/T15862—2012

代替

GB/T15862—1995

離子注入機通用規范

Generalspecificationofionimplantationequipment

2012-11-05發布2013-02-15實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T15862—2012

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替離子注入機通用技術條件

GB/T15862—1995《》。

本標準與相比主要變化如下

GB/T15862—1995:

由代替

———GBn193—1983GB/T13384—1992;

增加術語注入角度見最大晶片傳輸效率見并在性能指標及測試方法中做

———“”(3.6)、“”(3.7),

相應要求見

(6.4.6);

環境溫度調整為相對濕度規定范圍見

———23℃±2℃;30%~50%(5.1.3);

安全要求中增加警示標識的條款見

———“”(6.3.1);

去掉表表

———3、4;

均勻性測量增加了熱波探針法測量條件和方法見

———(6.4.4.1b));

重復性測量增加了批間重復性測量方法見

———(6.4.5.2);

檢驗規則去掉例行檢驗項

———。

本標準由中華人民共和國工業和信息化部提出

。

本標準由中國電子技術標準化研究所歸口

。

本標準起草單位中國電子科技集團公司第四十八研究所

:。

本標準主要起草人郭健輝彭立波羅宏洋

:、、。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T15862—1995。

Ⅰ

GB/T15862—2012

離子注入機通用規范

1范圍

本標準規定了離子注入機的術語產品分類技術要求試驗檢驗規則和標志包裝運輸貯存

、、、、、、、。

本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機其他離子注入機亦可參照使用

。。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191

包裝運輸包裝件基本試驗第部分正弦定頻振動試驗方法

GB/T4857.7—20057:

設備可靠性試驗恒定失效率假設下的失效率與平均無故障時間的驗證試

GB/T5080.7—1986

驗方案

運輸包裝收發貨標志

GB/T6388—1986

機電產品包裝通用技術條件

GB/T13384—1992

機械安全指示標志和操作第部分關于視覺聽覺和觸覺信號的要求

GB18209.1、1:、

電子工業專用設備通用規范

SJ/T142

金屬鍍層和化學處理層質量檢驗技術要求

SJ/T1276

涂料涂覆通用技術條件

SJ/T10674

3術語

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

束能量beamenergy

到達靶上離子所具有的動能

。

注單位為電子伏特

:(eV)。

32

.

著靶束流beamcurrentontarget

單位時間內靶上接收到的離子束電荷量

。

注單位為安培

:(A)。

33

.

均勻性uniformity

表征注入離子劑量不均勻的程度用相對標準偏差表示

。。

34

.

重復性repeatability

表征片間或批間在相同