GB/T 11446.1-1997電子級水

ICS31-030L90中華人民共和國國家標準GB/T11446.1一1997電子級水Electronicgradewater1997-09-01發布1998-09-01實施國家技術監督局發布

中華人民共和國國家標準電包子級水GB/T11446.1-1997中國標準出版社出版發行北京西城區復興門外三里河北街16號郵政編碼：100045電話：63787337、637874471998年1月第一版204年12月電子版制作書號：155066·1-14534版權專有侵權必究舉報電話：（010）68533533

GB/T11446.1-1997本標準是對GB11446.1-89《電子級水》國家標準進行修訂原標準GB11446.1是參照1983年ASTM委員會電子級水規范草案8及D1193—77（82)試劑用水規范制定的。隨著電子工業、微電子工業的飛速發展對電子級水的質量要求更嚴格。美國從1991年開始，頒布了新的ASTMD5127—90電子級水規范并沿用至今。我國原標準GB11446.1與1995年ASTMD5127-90電子級水規范相比，標準技術內容中缺少金屬鎳、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子、細菌內毒素的技術指標。另外，由于當時我國分析手段的局限性，其中顆粒、細菌、總有機碳等技術指標水平規定得較低,因此與ASTMD5127—90電子級水規范水平相比有一定差距,已不能滿足電子工業發展的需要。為此，我們非等效地采用美國1995年ASTMD5127—90電子級水規范。本標準將原電子級水級別由5級改為4級，技術內容增加了金屬鎳、硝酸根、磷酸根、硫酸根等指標;刪去了1995年ASTMD5127—90標準中未規定的金屬鋁、鐵、鈣技術指標,提高了顆粒和細菌的指標要求;增加了有關水的詞匯;同時考慮到目前我國實際情況，這次修訂時沒有規定細菌內毒素的指標和檢測方法。本標準從實施之日起同時代替GB11446.1—89.本標準由中華人民共和國電子工業部提出。本標準由電子工業部標準化研究所歸口。本標準起草單位：中國科學院半導體研究所、電子工業部標準化研究所。本標準主要起草人：聞瑞梅、李曉英、王在忠、間桂珍。

中華人民共和國國家標準GB/T11446.1-1997子級水代替GB11446.1-89Electronicgradewater1范園本標準規定了電子級水的級別、要求、試驗方法和檢驗規則本標準適用于電子元器件生產和清洗用水。2引用標準下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。。本標準出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T11446.3—1997電子級水測試方法通則GB/T11446.4一1997電子級水電阻率的測試方法GB/T11446.5一1997電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法GB/T11446.6一1997電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法GB/T11446.7-1997電子級水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法GB/T11446.8-1997電子級水中總有機碳的測試方法GB/T11446.9-1997電子級水中微粒的儀器測試方法GB/T11446.10-1997電電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法3定義本標準采用下列定義。3.1電子級水electronicgradewater制造電子元器件工藝過程中所用的高純水.3.2電阻率resistivity在規定溫度下,1cm2水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號表示，單位為Q·cm,純水的理論電阻率為18.3MQ·cm(25℃)。3.3全硅totalsilicon水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。3.4可溶性硅solublesilicon以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽、3.5微粒性物質granularmatter除氣體以外,以非液態分散在水中，并形成非均相混合物的物質。3.66總有機碳(TOC）to