GB/T 10067.410-2014電熱裝置基本技術條件第410部分：單晶爐

ICS2518010

K61..

中華人民共和國國家標準

GB/T10067410—2014

.

電熱裝置基本技術條件

第410部分單晶爐

:

Basicspecificationsforelectroheatinstallations—

Part410Sinlecrstalrowinfurnace

:gygg

2014-12-05發布2015-04-16實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T10067410—2014

.

前言

電熱裝置基本技術條件現有個部分

GB/T10067《》19:

第部分通用部分

———1:;

第部分電弧加熱裝置

———2:;

第部分感應電熱裝置

———3:;

第部分中頻無心感應爐

———31:;

第部分電壓型變頻多臺中頻無心感應爐成套裝置

———32:;

第部分工頻無心感應熔銅爐

———33:;

第部分間接電阻爐

———4:;

第部分網帶式電阻加熱機組

———41:;

第部分推送式電阻加熱機組

———42:;

第部分強迫對流井式電阻爐

———43:;

第部分箱式電阻爐

———44:;

第部分真空淬火爐

———45:;

第部分罩式電阻爐

———46:;

第部分真空熱處理和釬焊爐

———47:;

第部分臺車式電阻爐

———48:;

第部分自然對流井式電阻爐

———49:;

第部分單晶爐

———410:;

第部分電熱浴爐

———411:;

第部分高頻介質加熱設備

———5:。

根據需要還將陸續制定其他部分

。

本部分為的第部分應與的第部分和第部分配合使用

GB/T10067410,GB/T1006714。

本部分按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本部分由中國電器工業協會提出

。

本部分由全國工業電熱設備標準化技術委員會歸口

(SAC/TC121)。

本部分起草單位西安電爐研究所有限公司江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司西安理工晶科

:、、

股份有限公司中冶電爐工程技術中心國家電爐質量監督檢驗中心陜西省電爐工程技術研究中心

、、、。

本部分主要起草人陳巨才李留臣袁芳蘭束天和朱琳

:、、、、。

Ⅰ

GB/T10067410—2014

.

電熱裝置基本技術條件

第410部分單晶爐

:

1范圍

的本部分規定了對晶體爐的術語產品分類技術要求試驗方法檢驗規則以

GB/T10067TDR、、、、

及標志包裝運輸和貯存

、、。

本部分適用于直拉法拉制半導體硅鍺等單晶的單晶爐

、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

鋼制壓力容器

GB150—2011

電工術語工業電熱裝置

GB/T2900.23—2008

環境空氣質量標準

GB3095—2012

電磁輻射防護規定

GB8702—1998

污水綜合排放標準

GB8978—1996

電熱設備的試驗方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

電熱設備的試驗方法第部分間接電阻爐

GB/T10066.4—20044:

電熱裝置基本技術條件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

電熱裝置基本技術條件第部分間接電阻爐

GB/T10067.4—20054:

工業企業廠界環境噪聲排放標準

GB12348—2008

大氣污染物綜合排放標準

GB16297—1996

電熱設備產品型號編制方法

JB/T9691—1999

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T2900.23—2008、GB/T10066.4—2004。

31

.

單晶爐crystalgrowingfurnace

利用直拉法或區熔法拉制半導體單晶材料的一種工業電熱

(czochralskimethod)(floatingzone)

設備

。

32

.

熔料量charge