立式爐安全操作規程

立式爐安全操作章程

1.目的

為DJ-802V型LPCVD立式爐的開關機安全操作以及設備緊急避險

提供指導。

2.范圍：

本規程適用于DJ-802V型LPCVD立式爐安全技術操作。

3.參考

《設備安全使用管理制度》

4.職責

4.1.設備工程師負責設備的正常開、關機操作的培訓和指導；

4.2.擴散操作者以及設備工程師等相關人員可執行設備的緊急避

險程序。

5.開機前確認

5.1.開機前確認住控制器開關、傳片單元開關、顯示器開關、爐

體加熱開關、控制器電源開關、DNT30P極限溫度控制器電源開關、

FFU電源開關、照明燈電源開關都在“OFF”位置；若不在，則將開關

調整至“OFF”位置。

圖片

5.2.開機前動力條件確認：打開閥門后觀察氮氣壓力、硅烷壓力、

二氯二氫硅壓力、笑氣壓力、氨氣壓力、壓縮空氣壓力、冷卻水壓力

均在壓力表綠色區間內。氣體壓力，SiH4：2±lkg/cm2,SiH2CL2：

0.7±0.1kg/cm2,N20：2±1kg/cm2,氨氣：2+1kg/cm2,N2：

2±1kg/cm2,壓空：5±1kg/cm2o冷卻水流量，正常值為

500±10cc/mino

圖片

5.3.LPCVD的真空泵氮氣壓力和冷卻水壓力都在額定值范圍以內。

（能通過真空泵控制面板的自我檢查）\

6.操作順序

6.1.打開120V.280V電源開關

6.2.依次打開控制器電源開關、DN-130P極限溫度控制器電源開

關、FFU電源開關、照明燈電源開關、主控制器開關、傳送單元開關、

顯示器開關、爐體加熱開關。

6.3.顯示器上提示“BACKUPMEMORYINITIALIZEOK?”按Fl鍵

確認。

6.4.真空系統建立

6.4.1.確認各閥門動作正常且大閥處于關閉狀態（閥控制面板上

V71閥LED燈不亮，即大閥關閉）；

6.4.2.按真空泵控制面板上的“START'鍵;

6.4.3.檢查真空壓力表讀數是否在紅色箭頭指定的0.2Pa位置；

6.4.4.撿漏時先開慢抽(V72閥)，當真空計讀數為lOOPa以下

時再打開快抽(V71閥)；

6.4.5.當真空閥路控制器轉換到MANUAL狀態，打開V5,V8閥，

按“SET”鍵確認，當容壓計和真空計的讀數均為零的時候，關閉V71

閥,計時3分鐘，漏率不超過2Pa/min。

6.4.6.通過漏率測試，慢回填氮氣(0.5slm)10分鐘，再快回填

氮氣(2slm)15分鐘。

6.4.7.將爐門落下，待機做片。

7.關機程序

7.1.程序結束后依次關閉加熱開關，觀察DN-130P極限溫度控制

器顯示溫度降至50囁氏度以下，關閉主控制器開關、傳送單元開關、

顯示器開關；

7.2.關閉照明燈電源、關閉FFU電源開關、關閉DN=130P極限溫

度控制器電源開關、關閉控制器電源；

7.3.關閉120Vhe208V電源開關

7.4.關閉真空泵：控制面板上的STOP鍵，關閉真空泵泵冷卻水,

關閉真空泵吹掃氮氣，關閉真空泵本電源開關

7.5.關閉冷卻水，氮氣，壓縮空氣閥門。

8.注意事項:

本LPCVD立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設備，為了

進一步保證人身和設備安全，所有的人員必須嚴格遵守下列條款：

8.1.電器安全

8.1.1.不能去掉所有連鎖；

8.1.2.爐體電源打開后，嚴禁打開爐體腔門，需要處理爐體端子

時，必須先把高壓斷開，進行這些操作時，必須兩個人同時在場；

8.2.特氣安全

8.2.1.本設備使用硅烷作為工藝氣體，該氣體遇空氣極易燃且有

毒，燃燒后產生白色粉末，對凈化環境產生影響。

8.2.2.未經允許，不準打開或者關閉硅烷閥門，停送氣需要提前

申請；

8.2.3.硅烷氣體管路系統必須氣密性良好，一經發現氣體泄漏，

立即執行硅烷泄露緊急避險，進行相關處理。

8.2.4.氨氣，二氯二氫硅具備腐蝕性的特氣，操作者按照日常點

檢要求進行檢查。

8.3.高溫安全

8.3.1.出入舟時禁止打開傳送腔室前后門，防止爐門打開時受到

熱輻射。

8.3.2.必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進行爐體加

熱器部分的保養，維修。