GB/T 46699-2025電子級四甲基硅烷

ICS31.030

CCSL90

中華人民共和國國家標準

GB/T46699—2025

電子級四甲基硅烷

Electronicgradetetramethylsilane

2025?10?31發(fā)布2026?05?01實施

國家市場監(jiān)督管理總局

國家標準化管理委員會發(fā)布

GB/T46699—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)

定起草。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會（SAC/TC203）提出并歸口。

本文件起草單位：南大光電半導體材料有限公司、蘇州實驗室、中國電子技術標準化研究院、江蘇

南大光電材料股份有限公司、廣州賽西標準檢測研究院有限公司、長江存儲科技有限責任公司、上海市

計量測試技術研究院、中芯國際集成電路制造（北京）有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、全椒南大光

電材料有限公司、寧波南大光電材料有限公司、南大光電（烏蘭察布）有限公司、浙江中寧硅業(yè)股份有限

公司、金宏氣體股份有限公司、艾生科（江蘇）化工科技有限公司、南大光電（淄博）有限公司。

本文件主要起草人：陳德義、徐文濤、曹可慰、茅炳榮、史澤遠、陳功鋒、張汝志、馬瑞、孫明璐、李春華、

孫鵬、張婷、趙俊莎、張健、魯錚、李雪、高周、吳怡然、萬燁、郝萍、郭威、魏良杰、毛國玉、汪晨、栗廣奉、

劉見華、劉立偉、張寶帥、孫麗麗、趙斌、曹益寧、陸平、張鵬、彭元兵、許勝霞、劉能巧、周禮、孟慶典、王藝潼、

孫建、高朋、張佳瑤、錢瑤。

Ⅰ

GB/T46699—2025

電子級四甲基硅烷

1范圍

本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級四甲基硅烷的技術要求、檢驗規(guī)則、包裝、標志、隨貨資料、運

輸、貯存及安全警告的要求，描述了相應的檢測方法。

本文件適用于沉積氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的電子級四甲基硅烷，作為集成電路的刻蝕硬掩層、

介電層等功能層；也適用于高純電子清洗劑和標準試劑的電子級四甲基硅烷。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于

本文件。

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GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T11446.1電子級水

GB12463危險貨物運輸包裝通用技術條件

GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15603危險化學品倉庫儲存通則

GB/T16483—2008化學品安全技術說明書內(nèi)容和項目順序

GB/T17519—2013化學品安全技術說明書編寫指南

GB/T25915.1潔凈室及相關受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T26793庫倫法微量水分測定儀

GB/T32566不銹鋼焊接氣瓶

GB/T37837四極桿電感耦合等離子體質譜方法通則

SJ/T11637電子化學品電感耦合等離子體質譜法通則

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3術語和定義

本文件沒有需要界定的術語和定義。

4技術要求

電子級四甲基硅烷應