標準解讀

《YS/T 1024-2015 濺射用鉭靶材》是一項針對濺射工藝中使用的鉭靶材制定的標準，由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出并歸口。該標準主要規(guī)定了用于薄膜制備過程中的濺射用鉭靶材的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的要求。

技術要求部分明確了鉭靶材的化學成分、物理性能（如密度）、外觀質量及尺寸偏差等具體指標。對于化學成分，標準給出了主要元素鉭（Ta）的最低含量要求，并對雜質元素的最大允許量做了限定；物理性能方面，則是對密度設定了下限值；至于外觀質量和尺寸偏差，也都有詳細的規(guī)定以確保產品符合使用需求。

在試驗方法章節(jié)里，列出了測定上述各項指標所需采用的方法與步驟，包括但不限于取樣方式、樣品處理、分析儀器的選擇及其操作條件設定等內容。這些測試手段旨在為生產廠家提供一套統(tǒng)一且科學合理的評價體系，以便于控制產品質量。


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  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實施
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文檔簡介

ICS7715099

H63..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T1024—2015

濺射用鉭靶材

Tantalumsputteringtargets

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1024—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位寧夏東方鉭業(yè)股份有限公司有研億金新材料有限公司寧波江豐電子材料股份

:、、

有限公司西安方科新材料科技有限公司

、。

本標準主要起草人鐘景明李桂鵬汪凱李兆博姚力軍熊曉東王莉宿康寧王小青杜鐵路

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1024—2015

濺射用鉭靶材

1范圍

本標準規(guī)定了用以制備薄膜的濺射用鉭靶材的要求試驗方法檢驗規(guī)則及標志包裝運輸貯存

、、、、、、

質量證明書和訂貨單或合同內容

()。

本標準適用于以真空電子束熔煉的高純鉭錠為原料通過塑性加工熱處理機械加工焊接等方法

,、、、

制造的濺射用鉭靶材以下簡稱鉭靶材

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

金屬材料維氏硬度試驗第部分試驗方法

GB/T4340.11:

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T8651

鉭鈮化學分析方法碳量和硫量的測定

GB/T15076.8

鉭鈮化學分析方法鉭中氮量的測定

GB/T15076.13

鉭鈮化學分析方法氧量的測定

GB/T15076.14

鉭鈮化學分析方法氫量的測定

GB/T15076.15

無損檢測目視檢測總則

GB/T20967—2007

濺射靶材背板結合質量超聲波檢驗方法

YS/T837-

高純鉭化學分析方法痕量雜質元素的測定輝光放電質譜法

YS/T899

3要求

31產品分類

.

鉭靶材按純度分為三個級別

:3N5(99.95%)、4N(99.99%)、4N5(99.995%)。

32化學成分

.

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