標準解讀

《JJF 1100-2003 平面等厚干涉儀校準規范》與《JJG 336-1983》相比，在內容和要求上進行了多方面的更新和完善。首先，《JJF 1100-2003》更加注重對平面等厚干涉儀的技術性能指標進行詳細規定，包括但不限于儀器的分辨率、測量范圍以及環境條件下的穩定性等方面的要求，這在《JJG 336-1983》中可能并未得到充分強調或明確。

其次，在校準方法上，《JJF 1100-2003》提出了更為科學合理的方案，不僅明確了使用標準物質作為參考來進行校準的具體步驟，還增加了對于不同型號或者規格的平面等厚干涉儀采用適當校準方法的指導性意見，使得整個校準過程更加規范化、標準化。

此外，《JJF 1100-2003》加強了對不確定度評估的要求，要求在校準報告中必須包含不確定度分析的結果，并且給出了如何正確計算不確定度的方法指南，這一點在《JJG 336-1983》中并沒有具體提及。


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  • 2003-05-12 頒布
  • 2003-11-12 實施
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文檔簡介

中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準規范

CalibrationSpecificationforFlatEqual

ThicknessInterferometers

2003-05-12發布2003-11-12實施

國家質量監督檢驗檢疫總局發布

JJF1100—2003

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平面等厚干涉儀校準規范??????????????

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CalibrationSecificationfor代替JJG336—1983?

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FlatEqualThicknessInterferometers

本規范經國家質量監督檢驗檢疫總局于年月日批準并自

20030512,

年月日起施行

20031112。

歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術委員會

負責起草單位:中國測試技術研究院

本規范由歸口單位負責解釋

JJF1100—2003

本規范主要起草人:

冉慶中國測試技術研究院

()

陳永康中國測試技術研究院

()

參加起草人:

李建民中國測試技術研究院

()

曹箭中國測試技術研究院

()

JJF1100—2003

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計量特性………………

4(1)

干涉條紋間距測量的重復性………

4.1(1)

測微目鏡的示值誤差………………

4.2(1)

物鏡系統引起的條紋彎曲量………

4.3(1)

儀器的示值誤差……………………

4.4(2)

校準條件………………

5(3)

環境條件……………

5.1(3)

校準用標準器及相應設備…………

5.2(4)

校準項目和校準方法…………………

6(4)

干涉條紋間距測量的重復性………

6.1(4)

測微目鏡的示值誤差………………

6.2(4)

物鏡系統引起的條紋彎曲量………

6.3(4)

儀器的示值誤差……………………

6.4(5)

校準結果表達…………

7(5)

復校時間間隔…………

8(5)

附錄校準證書內容…………………

A(6)

附錄平面等厚干涉儀示值誤差的測量不確定度分析………………

B(7)

JJF1100—2003

平面等厚干涉儀校準規范

1范圍

本規范適用于平面等厚干涉儀的校準不適用于只能估讀干涉條紋彎曲量的同類干

,

涉裝置的校準

。

2引用文獻

通用計量術語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

平晶檢定規程

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

使用本規范時應注意使用上述引用文獻的現行有效版本

,。

3概述

平面等厚干涉儀以下簡稱儀器是采用等厚光波干涉原理用于測量物體表面平

(),

面度的光學計量儀器根據儀器示值誤差可分為一級和二級按其結構分為用鈉光做光

,。

源不帶標準平面平晶和用激光做光源帶標準平面平晶的兩種平面等厚干涉儀其外

、、。

形結構與光學原理分別見圖圖和圖圖

1、23、4。

圖不帶標準平晶的外形結構圖

1

4計量特性

干涉條紋間距測量的重復性

4.1

重復性不超過

0.020mm。

測微目鏡的示值誤差

4.2

在任意內不超過在全程不超過

1mm

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