GB/Z 32494-2016表面化學分析俄歇電子能譜化學信息的解析

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準化指導性技術文件

GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006

:

表面化學分析俄歇電子能譜

化學信息的解析

Surfacechemicalanalysis—Augerelectron

spectroscopy—Derivationofchemicalinformation

(ISO/TR18394:2006,IDT)

2016-02-24發布2017-01-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

縮略語

4……………………1

俄歇電子能譜中化學效應和固態效應的類型

5…………1

芯能級俄歇電子躍遷引起的化學效應

6…………………2

引言

6.1…………………2

俄歇電子能量的化學位移

6.2…………2

俄歇參數的化學位移

6.3………………3

化學態圖

6.4……………4

俄歇電子能量和俄歇參數的化學位移數據庫

6.5……………………5

俄歇電子衛星結構的化學效應

6.6……………………5

俄歇線相對強度和線形變化的化學效應

6.7CCC……………………6

俄歇電子能譜中非彈性區域的化學效應

6.8CCC……………………6

芯能級俄歇電子躍遷引起的化學效應

7…………………7

引言

7.1…………………7

化學態有關的和俄歇譜的線形

7.2CCVCVV………7

分析和俄歇譜線形獲取局域電子結構的信息

7.3CCVCVV……10

參考文獻

……………………11

Ⅰ

GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006

:

前言

本指導性技術文件按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本指導性技術文件使用翻譯法等同采用表面化學分析俄歇電子能譜化

ISO/TR18394:2006《

學信息的解析

》。

本指導性技術文件由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本指導性技術文件負責起草單位中國科學院上海硅酸鹽研究所

:。

本指導性技術文件主要起草人卓尚軍申如香虞玲劉芬沈電洪丁訓民

:、、、、、。

Ⅲ

GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006

:

引言

本指導性技術文件提供了識別射線或者電子激發俄歇能譜的化學效應以及把它們用于化學表

X

征的方法準則

。

俄歇電子能譜含有表面或者界面元素組成的信息也含有芯能級具有初始空位的原子周圍區域的

,

信息[1-5]由于原子周圍環境的改變而引起俄歇電子能譜的變化被稱之為化學或者固態效應對化

。()。

學效應的認識對俄歇電子能譜的正確定量分析非常重要對識別表面化學組分以及表面和界面層中原

,

子組成的化學態也非常有幫助

。

Ⅳ

GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006

:

表面化學分析俄歇電子能譜

化學信息的解析

1范圍

本指導性技術文件規定了識別射線或者電子激發的俄歇譜中的化學效應以及把它們用于化學

X

表征的方法準則

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

ISO18115。

4縮略語

芯能級芯能級芯能級俄歇電子躍遷

CCC--()

芯層芯層價層俄歇電子躍遷

CCV--()

躍遷

CKCoster-Kronig(Coster-Kronig)

立方氮化硼

c-BN

芯層價帶層價帶層俄歇電子躍遷

CVV--()

六方氮化硼

h-BN

反射電子能量損失譜

REELS

5俄歇電子能譜中化學效應和固態效應的類型

在俄歇電子能譜圖中能觀察到許多類型的化學或固態效應[1-5]一個內殼層發生電離后的原子

,。,

由于它周圍環境的變化會導致所發射的俄歇電子的動能產生位移在射線激發的俄歇電子能譜中

。X

也能檢測到俄歇參數即俄歇電子發射過程中俄歇峰與所對應的芯能級光電子峰之間的動能差的能量

()

位移俄歇線形相對強度和衛星結構由原子內部激發過程誘導形成會受到化學效應的較大影響與

。、(),

本征峰相伴的能量損失區域的結構由原子外部電子散射過程誘導形成也會受到這種影響俄歇譜形

()。

上較強的化學效應提供了用指紋識別的方式來鑒別化學形態的途徑