標準解讀

《GB/T 37213-2018 硅晶錠尺寸的測定 激光法》是一項國家標準，主要規定了使用激光技術測量硅晶錠尺寸的方法。該標準適用于單晶硅和多晶硅晶錠的尺寸檢測，包括直徑、長度等關鍵參數。通過采用非接觸式的激光掃描方式，能夠高效準確地獲取硅晶錠的外形尺寸信息。

在具體操作流程方面，首先需要確保被測硅晶錠表面清潔無雜質，以減少外界因素對測量結果的影響。接著，根據待測樣品的具體情況選擇合適的激光測量設備，并按照說明書正確設置儀器參數。當一切準備就緒后，將硅晶錠放置于指定位置，啟動激光掃描系統開始自動采集數據。整個過程中應保持環境穩定，避免振動或其他干擾源影響精度。

此外，《GB/T 37213-2018》還詳細描述了如何處理所獲得的數據，包括但不限于數據平滑處理、異常值剔除以及最終結果計算方法等。對于不同類型的硅晶材料，可能還需要考慮其特殊性質（如反射率差異）對激光信號接收造成的影響，并據此調整相應的校正因子來提高準確性。

此標準為硅晶行業提供了一種科學可靠的尺寸測量手段，有助于提升產品質量控制水平及生產效率。


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....

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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-11-01 實施
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文檔簡介

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標準

GB/T37213—2018

硅晶錠尺寸的測定激光法

Testmethodforsiliconbrickdimension—Lasertechnologymethod

2018-12-28發布2019-11-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T37213—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位蘇州協鑫光伏科技有限公司江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司山東大海新能

:、、

源發展有限公司

。

本標準主要起草人宮龍飛金善明林清香夏根平唐珊珊劉坤

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T37213—2018

硅晶錠尺寸的測定激光法

1范圍

本標準規定了采用激光法非接觸式測量方形硅晶錠尺寸的方法包括對角線倒角垂直度邊長和

,、、、

長度

。

本標準適用于半導體及光伏領域硅單晶棒或多晶硅鑄錠切割成的方形硅晶錠尺寸的測量

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導體材料術語

GB/T14264

太陽能電池用硅單晶

GB/T25076

太陽能級鑄造多晶硅塊

GB/T29054

3術語和定義

和界定的術語和定義適用于本文件

GB/T14264、GB/T25076GB/T29054。

4方法原理

采用激光技術構架一個尺寸測量系統用激光光源作為入射光照射硅晶錠通過激光探頭接收激

,。

光反射信號形成激光脈沖波形圖并將數據反饋至計算機軟件處理控制系統通過計算機軟件處理控

,,。

制系統對硅晶錠對角線倒角垂直度邊長長度參數進行模擬與計算從而得出硅晶錠的尺寸參數

、、、、,。

硅晶錠對角線倒角垂直度參數由激光測量組件測量如圖所示硅晶錠邊長長度

、、A、B、C、D,1。、

參數由激光測量組件測量如圖所示測量硅晶錠長度時硅晶錠垂直于激光測量組件平

P、L、Q、R,2。,

面運動當硅晶錠第一端面通過激光測量組件平面時記錄四個側面的初始位置當硅晶錠第二端面通

,,,

過激光測量組件平面時記錄四個側面的終止位置進而確定硅晶錠長度

,,。

說明

:

激光測量組件

A、B、C、D———。

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