GB/T 25187-2010表面化學分析俄歇電子能譜選擇儀器性能參數的表述

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T25187—2010/ISO154712004

:

表面化學分析俄歇電子能譜

選擇儀器性能參數的表述

Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopy—

Descriptionofselectedinstrumentalperformanceparameters

(ISO15471:2004,IDT)

2010-09-26發布2011-08-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

表面化學分析俄歇電子能譜

選擇儀器性能參數的表述

GB/T25187—2010/ISO15471:2004

*

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16

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年月第一版年月第一次印刷

201012201012

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書號

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:()

GB/T25187—2010/ISO154712004

:

前言

本標準等同采用表面化學分析俄歇電子能譜選擇儀器性能參數的表述

ISO15471:2004《》。

為了方便使用本標準做了下列編輯性修改

,:

用本標準代替本國際標準

———“”“”。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

。

本標準負責起草單位福建光電有限公司清華大學化學系

:、。

本標準起草人王水菊姚文清時海燕李展平劉芬沈電洪

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T25187—2010/ISO154712004

:

引言

世界上有許多家廠商生產俄歇電子能譜儀和掃描俄歇電子顯微鏡雖然每臺儀

(AESs)(SAMs)。

器的分析方法的基本原理相同但儀器的具體設計和性能說明的方式卻各不相同因此通常很

AES,。,

難比較不同廠商生產的儀器性能本標準提供一個基本項目單以使所有俄歇電子能譜儀能以一種共

。,

同的方式來表述本標準不是用來取代廠商的說明書而是就廠商說明書中所確定的某些項目給出一

。,

致和明確的定義

。

Ⅱ

GB/T25187—2010/ISO154712004

:

表面化學分析俄歇電子能譜

選擇儀器性能參數的表述

1范圍

本標準表述了如何描述一臺俄歇電子能譜儀的特定性能

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術語和定義

表面化學分析詞匯中所給定的術語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4符號和縮略詞

俄歇電子能譜也指俄歇電子能譜儀

AES();

本底以上最大峰強一半處的全寬度

FWHM;

掃描俄歇電子顯微鏡也指掃描俄歇電子顯微術

SAM();

掃描電子顯微鏡

SEM。

注一直以來儀器的動能標參考真空能級而或聯合譜儀則參考費米能級從費米能級參照

:,AES,XPSAES/XPS。

轉換為真空能級參照是通過從電子動能中扣除譜儀逸出功來實現一種近似方法是從費米能級參照的動能中

;

扣除這對于大多數實際和應用是可行的

4.5eV,AESSAM。

5選擇儀器性能參數的表述

51分析方法

.

應簡要敘述用于從樣品獲得信息的方法并說明在所考慮的系統中其他分析技術的適用性作為選項

,()。

52樣品

.

應給出使用該儀器可分析的樣品大小和形狀如果樣品的大小或形狀受限于某些特殊分析模式

。,

例如變角測量絕緣體測量等應予以具體說明

、