GB/T 18994-2014電子工業用氣體高純氯

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T18994—2014

代替

GB/T18994—2003

電子工業用氣體高純氯

Gasesforelectronicindustry—Highpuritychlorine

2014-12-22發布2015-07-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T18994—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替電子工業用氣體高純氯與相比除編輯

GB/T18994—2003《》。GB/T18994—2003,

性修改外主要技術內容變化如下

:

修改了范圍見第章年版的第章

———(1,20031);

修改了規范性引用文件見第章年版的第章

———(2,20032);

修改了技術要求見第章年版的第章

———(3,20033);

修改了抽樣判定見年版的第章

———、(4.1,20035);

刪去了取樣裝置的規定年版的

———(20034.1);

修改了氧氮一氧化碳二氧化碳烴含量的測定方法見年版的

———、、、、(4.3,20034.3、4.4);

增加了氫含量的測定方法見

———(4.3);

修改了水分含量的測定方法見年版的

———(4.4,20034.5);

增加了金屬元素含量的測定方法見

———(4.5);

修改了標志包裝貯運及安全見第章年版的第章

———、、(5,20036、7)。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位西南化工研究設計院有限公司光明化工研究設計院有限公司佛山市華特氣體

:、、

有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司太和氣體荊州有限公司上海儀盟科技有限公司

、、()、。

本標準主要起草人周鵬云常俠廖恒易方華劉新明汪正宏楊任

:、、、、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T18994—2003。

Ⅰ

GB/T18994—2014

電子工業用氣體高純氯

1范圍

本標準規定了高純氯的技術要求試驗方法檢驗規則及包裝標志運輸和儲存

、、、、。

本標準適用于以工業液氯為原料采用物理吸附等過程生產的高純氯產品該產品主要用于大規

,。

模集成電路光導纖維高溫超導平板顯示器太陽能等技術領域

、、、、。

分子式

:Cl2。

相對分子質量按年國際相對原子質量計算

:70.90(2009)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB7144

氯氣安全規程

GB11984

液化氣體氣瓶充裝規定

GB14193

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣瓶安全監察規程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2002)

特種設備安全監察條例版

(2009)

3技術要求

高純氯的技術要求應符合表的要求

1。

表1技術指標

項目指標

氯純度體積分數-2

()/10≥99.99999.9995

氫含量體積分數-6

(H2)()/10<0.50.5

氧含量體積分數-6

(O2)