GB/T 15074-2008電子探針定量分析方法通則

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犖５３

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１５０７４—２００８

代替ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４

電子探針定量分析方法通則

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２００８０６１６發布２００９０３０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１５０７４—２００８

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３方法原理!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４電子探針分析儀基本結構!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

５儀器的環境條件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

６測量前的準備!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

７測量條件的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

８標樣的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

９測量過程概述!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

１０電子束入射電流的測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

１１標樣中的元素Ｘ射線強度測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

１２試樣中各元素的Ｘ射線強度測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

１３電子探針定量分析的基本校正!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!６

１４測量不確定度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

１５結果報告!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

Ⅰ

書

犌犅／犜１５０７４—２００８

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４《電子探針定量分析方法通則》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４相比主要變化如下：

———增加了引用標準，吸收了國際國內近年發布的標準的技術內容；

———部分術語按ＩＳＯ２３８３３：２００６進行了修改；

———刪除了原標準附錄Ａ；

———增加了測量不確定度評價要求（見第１４章）。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口。

本標準起草單位：核工業北京地質研究院，北京鋼鐵研究總院。

本標準主要起草人：范光、朱衍勇、葛祥坤、張宜、毛允靜。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４。

Ⅲ

犌犅／犜１５０７４—２００８

電子探針定量分析方法通則

１范圍

本標準規定了電子探針定量分析過程中儀器的安裝要求、工作條件、標樣選擇、基本操作過程、各種

校正處理方法及結果報告內容。

本標準適用于具有波譜儀的電子探針分析儀對試樣中各元素組成定量分析測量及數據處理。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ／Ｔ４９３０微束分析電子探針分析標準樣品技術條件導則（ＧＢ／Ｔ４９３０—２００８，ＩＳＯ１４５９３：

２００３，ＩＤＴ）

ＧＢ／Ｔ２０７２５波譜法定性點分析電子探針顯微分析導則（ＧＢ／Ｔ２０７２５—２００６，ＩＳＯ１７４７０：２００４，

ＩＤＴ）

ＩＳＯ２２３０９：２００６微束分析能譜定量分析

ＩＳＯ２３８３３：２００６微束分析電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）術語